LY.4-LT-4型單晶少子壽命測試儀是參考美國 A.S.T.M 標準而設計的用于測量硅單晶的非平衡少數載流子壽命。半導體材料的少數載流子壽命測量,是半導體的常規測試項目之一。本儀器靈敏度較高,配備有紅外光源,可測量包括集成電路級硅單晶在內的各種類型硅單晶,以及經熱處理后壽命驟降的硅單晶、多晶磷檢棒的壽命測量等。 本儀器根據國際通用方法高頻光電導衰退法的原理設計,由穩壓電源、高頻源、檢波放大器,特制的InGaAsp/InP紅外光源及樣品臺共五部份組成。采用印刷電路和高頻接插連接。整機結構緊湊、測量數據可靠。 技 術 指 標 : 少子壽命測量范圍 1μs ~ 10000μs 可測電阻率下限 ≥0.1 Ω ? ? cm 可測樣品類型: 塊狀和片狀的單晶及多晶半導體材料 紅外光源波長:1.06~1.09 μm; 脈沖電流:5A~20A 配備光源類型 : 重復頻率>25 次/s 脈寬>60μs;余輝<1 μS; 高頻源: 頻率 30MHz; 低輸出阻抗 : 輸出功率> 1W 前置放大器 : 放大倍數約 25,頻寬 2 Hz-2 MHz 測量方式: 采用對標準曲線讀數方式 示波器 : 頻帶寬度不低于 10MHz,Y 軸增益及掃描速度均應連續可調 儀器工作條件 溫度:10-35℃、 濕度 < 80%、使用電源:AC 220V,50Hz,功耗<50W
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